REPLICATION OF PERIODIC STRUCTURES IN POLYMER MATERIALS
A. Guobienė^a,b, B. Čyžiūtė^a, S. Tamulevičius^a,b, I. Prosyčevas^b, and L. Puodžiukynas^a
aDepartment of Physics, Kaunas University of Technology, Studentų 50, LT-51424 Kaunas, Lithuania
^bInstitute of Physical Electronics, Kaunas University of Technology, Savanorių 271, LT-50131 Kaunas, Lithuania

Received 6 October 2003

Dedicated to the 100th anniversary of Professor K. Baršauskas

Periodic structures of Si(001) and quartz glass master-matrices with the period of 4 μm and the polymer replicas fabricated by imprint lithography and UV light hardening techniques were investigated. The profile of the structures was examined by atomic force microscopy. Diffraction efficiency of the periodic structures was measured experimentally and calculated theoretically employing the integral technique. The results obtained show the diffraction efficiency to be an efficient tool for the control of surface relief formation during etching of master-matrix and its replication. It is shown that the quartz glass master-matrix is more efficient both for the imprint and UV hardening polymer replication as compared to the silicon one.

PERIODINIŲ DARINIŲ ANTRINIMAS POLIMERINĖSE MEDŽIAGOSE
A. Guobienė^a,b, B. Čyžiūtė^a, S. Tamulevičius^a,b, I. Prosyčevas^b, L. Puodžiukynas^a
aKauno technologijos universitetas, Kaunas, Lietuva
^bKauno technologijos universiteto Fizikinės elektronikos institutas, Kaunas, Lietuva

Naudojant standartinius litografinius ir cheminio bei plazminio ėsdinimo technologinius metodus, kristaliniame silicyje (100) ir kvarciniame stikle buvo suformuoti periodiniai dariniai, kurių periodas d = 4 μm, profilio gylis h = 0,5 μm. Dariniai buvo antrinami polimerinėse medžiagose (polimetilmetakrilate, akriliniame trimetilolpropanetoksilate), naudojant įspaudimo ir UV kietinimo metodus. Atlikti periodinių darinių difrakcinio efektyvumo eksperimentiniai ir teoriniai (naudojant PCGrate 2000MLT programą) tyrimai. Atlikta įvairių technologinių procesų įtakos periodinių darinių difrakciniam efektyvumui analizė. Darinių paviršiaus reljefo morfologijos tyrimai atlikti atominių jėgų mikroskopu NT-206, optinio atsako tyrimai – naudojantis lazeriniu (λ = 632,8 nm) difrakcijos stendu.