OPTICAL PROPERTIES OF AMORPHOUS HYDROGENATED CARBON FILMS
G.J. Babonas^a,b, A. Rėza^a,c, A. Grigonis^dd, D. Tribandis^d, R. Tamaševičius^a, and A. Kindurys^a
aSemiconductor Physics Institute, A. Goštauto 11, LT-01108 Vilnius, Lithuania
^bVilnius Gediminas Technical University, Saulėtekio 11, LT-10223 Vilnius, Lithuania
^cVilnius Pedagogical University, Studentų 39, LT-08106 Vilnius, Lithuania
^dKaunas University of Technology, Studentų 50, LT-51368 Kaunas, Lithuania

Received 22 October 2003

Amorphous diamond-like hydrogenated carbon films grown on a Si substrate from C₂H₂ + H₂ plasma were investigated. The ellipsometric and reflectance technique was used to reveal the optical constants of a-C:H films from the optical response of the complex system in the UV–VIS–NIR spectral range of 0.5–5.0 eV. The model of an effective film was used for a-C:H films though in the analysis of the optical response a multilayer model was applied. Particular features of optical properties were correlated to the technological peculiarities and structural characteristics of a-C:H films grown from C₂H₂ + H₂ plasma.

AMORFINIŲ HIDROGENIZUOTŲ ANGLIES SLUOKSNIŲ OPTINĖS SAVYBĖS
G.J. Babonas^a,b, A. Rėza^a,c, A. Grigonis^dd, D. Tribandis^d, R. Tamaševičius^a, A. Kindurys^a
aPuslaidininkių fizikos institutas, Vilnius, Lietuva
^bVilniaus Gedimino technikos universitetas, Vilnius, Lietuva
^cVilniaus pedagoginis universitetas, Vilnius, Lietuva
^dKauno technologijos universitetas, Kaunas, Lietuva

Tirti amorfiniai deimanto tipo hidrogenizuoti anglies sluoksniai, užauginti ant Si padėklų iš C₂H₂ + H₂ plazmos. Iš šios kompleksinės sistemos optinio atsako UV–VIS–IR spektro ruože (1–5 eV), tiriamo elipsometriniu ir atspindžio metodais, įvertintos a-C:H sluoksnių optinės konstantos. Nagrinėjami a-C:H sluoksniai apibūdinti efektyvaus sluoksnio modeliu, tačiau optinis atsakas analizuotas daugiasluoksniu modeliu. Optinių a-C:H sluoksnių, išaugintų iš C₂H₂ + H₂ plazmos, savybių būdingi bruožai buvo susieti su technologijos ir sandaros ypatumais.