[PDF]
http://dx.doi.org/10.3952/lithjphys.46302
Open access article / Atviros prieigos straipsnis
Lith. J. Phys. 46, 311–319 (2006)
EFFECT OF ANNEALING ON OPTICAL
PROPERTIES OF InGaN / GaN MULTIPLE QUANTUM WELLS
Y.-C. Chenga, S.-W. Fenga, C.C. Yanga,
C.-T. Kuob, J.-S. Tsangb, S. Juršėnasc,
S. Miasojedovasc, and A. Žukauskasc
aGraduate Institute of Electro-Optical Engineering
and Department of Electrical Engineering, National Taiwan
University 1, Roosevelt Road, Sec. 4, Taipei, Taiwan, R.O.C.
bAdvanced Epitaxy Technology Inc., Hsinchu
Industrial Park, Hsinchu, Taiwan, R.O.C.
cInstitute of Materials Science and Applied
Research, Vilnius University, Saulėtekio 9, LT-10222 Vilnius,
Lithuania
E-mail: saulius.jursenas@ff.vu.lt
Received 24 February 2006
Site-selective photoluminescence,
photoluminescence excitation, and time-resolved luminescence in
as-grown and thermally treated In0.15Ga0.85N / GaN multiple
quantum wells (MQWs) was investigated as a function of well width
in the temperature range of 10–300 K. Thermal annealing at 800
C
for 30 min monitored by microstructure imaging was shown to result
in an alteration of MQWs optical properties intricately depending
on the well thickness. The observed blue shift of the luminescence
band and pronounced changes in the absorbance indicate a
remarkable interdiffusion of indium at the quantum well–barrier
interface for MQWs with thin (2 nm) wells. Meanwhile for thicker
(3 nm) wells, a pronounced red shift of the luminescence band and
an increase in the luminescence decay time was observed and
attributed to electron–hole wave function separation facilitated
by the smoothened band potential profile. In the thickest wells (4
nm), annealing resulted in even more pronounced improvement of
microstructure, which led to a noticeable reduction of the
localization energy of the electronic excitations (an
annealing-invoked luminescence peak blue shift that overweighs the
red one caused by intrinsic field) and to suppression of
nonradiative recombination (an increase in luminescence
efficiency). The results are accounted for in terms of
annealing-invoked In–Ga interdiffusion, which behaves as either
diffusion of indium to barriers or “uphill” diffusion within the
wells depending on the well width.
Keywords: InGaN, multiple quantum wells,
annealing, luminescence
PACS: 78.55.Cr, 78.47.+p, 78.67.De
ATKAITINIMO ĮTAKA InGaN / GaN
DAUGIALAKŠČIŲ DARINIŲ OPTINĖMS SAVYBĖMS
Y.-C. Chenga, S.-W. Fenga, C.C. Yanga,
C.-T. Kuob, J.-S. Tsangb, S. Juršėnasc,
S. Miasojedovasc, A. Žukauskasc
aNacionalinis Taivanio universitetas 1, Taipėjus,
Taivanis
bChsinčiu pramonės parkas, Chsinčiu, Taivanis
cVilniaus universitetas, Vilnius, Lietuva
Ištirtos ką tik išaugintų ir 30 min 800
C
temperatūroje atkaitintų In
0,15Ga
0,85N / GaN
daugialakščių darinių liuminescencijos, sužadinimo spektrų bei
laike išskleistos liuminescencijos 10–300 K temperatūroje savybės,
kurios palygintos su didelės skyros elektronų mikroskopijos
atvaizdais. Pastebėta, kad kvantinių darinių atkaitinimas lemia
optinių savybių pakitimą, kuris sudėtingai priklauso nuo kvantinės
duobės storio. Plonose kvantinėse duobėse pastebėtas
liuminescencijos smailės poslinkis į didesnės energijos sritis bei
būdingi pakitimai sugerties spektre dėl indžio difuzijos į
barjerinę sritį. Platesnėse (3 nm) duobėse pastebėtas
liuminescencijos smailės poslinkis į mažesnės energijos sritis bei
išaugusi krūvininkų gyvavimo trukmė. Taip atsitinka, elektronų bei
skylių banginėms funkcijoms atsiskyrus erdvėje dėl sumažėjusių
potencialo fliuktuacijų. Plačiausiose (4 nm) kvantinėse duobėse
atkaitinimas padarė dar didesnę įtaką sandarai, žymiai
sumažindamas krūvininkų lokalizacijos energiją (poslinkis į
didesnės energijos sritis didesnis nei vidinio elektrinio lauko
nulemtas poslinkis į mažesnės energijos sritis) bei sumažino
nespindulinę rekombinaciją (suintensyvėjo liuminescencija).
Aiškinama, kad tokie rezultatai gauti dėl atkaitinimo sukeltos
In–Ga abipusės difuzijos, kai priklausomai nuo duobės storio arba
indis difunduoja į barjerinę sritį, arba vyksta indžio
kondensacija (neigiama difuzija) pačiose kvantinėse duobėse.
References / Nuorodos
[1] S. Nakamura and G. Fasol, The Blue Laser Diode: GaN Based
Light Emitters and Lasers (Springer, Berlin, 1997),
http://dx.doi.org/10.1007/978-3-662-03462-0
[2] A. Žukauskas, M.S. Shur, and R. Gaska, Introduction to
Solid-State Lighting (Wiley, New York, 2002)
[3] J.-S. Tsang, J.-D. Guo, S.-H. Chan, M.-S. Feng, and C.-Y. Chang,
Jpn. J. Appl. Phys. 36, 1728 (1997),
http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.36.1728
[4] L.T. Romano, M.D. McCluskey, C.G. Van de Walle, J.E. Northrup,
D.P. Bour, M. Kneissl, T. Suski, and J. Jun, Appl. Phys. Lett. 75,
3950 (1999),
http://dx.doi.org/10.1063/1.125504
[5] C.-C. Chou, C.-M. Lee, and J.-I. Chyi, Appl. Phys. Lett. 78,
314 (2001),
http://dx.doi.org/10.1063/1.1339991
[6] R. Singh, D. Doppalapudi, T.D. Moustakas, and L.T. Romano, Appl.
Phys. Lett. 70, 1089 (1997),
http://dx.doi.org/10.1063/1.118493
[7] M.D. McCluskey, L.T. Romano, B.S. Krusor, D.P. Bour, N.M.
Johnson, and S. Brennan, Appl. Phys. Lett. 72, 1730 (1998),
http://dx.doi.org/10.1063/1.121166
[8] D. Doppalapudi, S.N. Basu, K.F.Jr. Ludvig, and T.D. Moustakas,
J. Appl. Phys. 84, 1389 (1998),
http://dx.doi.org/10.1063/1.368251
[9] Y.-T. Moon, D.-J. Kim, K.-M. Song, C.-J. Coi, S.-H. Han, T.-Y.
Seong, and S.-J. Park, J. Appl. Plys. 89, 6514 (2001),
http://dx.doi.org/10.1063/1.1370368
[10] I.H. Ho and G.B. Stringfellow, Appl. Phys. Lett. 69,
2701 (1996),
http://dx.doi.org/10.1063/1.117683
[11] S.Yu. Karpov, J. Nitride Semicond. Res. 3, 16 (1998),
http://dx.doi.org/10.1557/S1092578300000880
[12] K. Osamura, K. Nakajima, and Y. Murakami, Solid State Commun. 11,
617 (1972),
http://dx.doi.org/10.1016/0038-1098(72)90474-7
[13] Y.-S. Lin, K.-J. Ma, C. Hsu, Y.-Y. Chung, C.-W. Liu, S.-W.
Feng, Y.-C. Cheng, M.-H. Mao, C.C. Yang, H.-W. Chuang, C.-T. Kuo,
J.-S. Tsang, and T.E. Weirich, Appl. Phys. Lett. 80, 2571
(2002),
http://dx.doi.org/10.1063/1.1467983
[14] S.-W. Feng, Y.-Y. Chung, C.-W. Liu, Y.-C. Cheng, C.C. Yang,
M.-H. Mao, Y.-S. Lin, K.- J. Ma, and J.-I. Chyi, Appl. Phys. Lett. 80,
4375 (2002),
http://dx.doi.org/10.1063/1.1484546
[15] S. Chichibu, T. Azuhata, T. Sota, and S. Nakamura, Appl. Phys.
Lett. 70, 2822 (1997),
http://dx.doi.org/10.1063/1.119013
[16] S. Chichibu, T. Sota, K. Wada, and S. Nakamura, J. Vac. Sci.
Technol. B 16, 2204 (1998),
http://dx.doi.org/10.1116/1.590149
[17] K.P. O'Donnell, R.W. Martin, and P.G. Middleton, Phys. Rev.
Lett. 82, 237 (1999),
http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevLett.82.237
[18] Y.-H. Cho, T.J. Schmidt, S. Bidnyk, G.H. Gainer, J.J. Song, S.
Keller, U.K. Mishra, and S.P. DenBaars, Phys. Rev. B 61,
7571 (2000),
http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevB.61.7571
[19] P.R. Kent and A. Zunger, Appl. Phys. Lett. 79, 1997
(2001),
http://dx.doi.org/10.1063/1.1408275
[20] J.P. O'Neill, I.M. Ross, A.G. Cullis, T. Wang, and P.J.
Parbrook, Appl. Phys. Lett. 83, 1965 (2003),
http://dx.doi.org/10.1063/1.1606105
[21] T.M. Smeeton, M.J. Kappers, J.S. Barnard, M.E. Vickers, and
C.J. Humphreys, Appl. Phys. Lett. 83, 5419 (2003),
http://dx.doi.org/10.1063/1.1636534
[22] Y. Narukawa, Y. Kawakami, S. Fujita, and S. Nakamura, Phys.
Rev. B 59, 10283 (1999),
http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevB.59.10283
[23] S.D. Baranovskii, R. Eichmann, and P. Thomas, Phys. Rev. B 58,
13081 (1998),
http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevB.58.13081
[24] K. Kazlauskas, G. Tamulaitis, A. Zukauskas, M.A. Khan, J.W.
Yang, J. Zhang, G. Simin, M.S. Shur, and R. Gaska, Appl. Phys. Lett.
83, 3722 (2003),
http://dx.doi.org/10.1063/1.1625111
[25] M.S. Minsky, S. Watanabe, and N. Yamada, J. Appl. Phys. 91,
5176 (2002),
http://dx.doi.org/10.1063/1.1459106
[26] F. Bernardini and V. Fiorentini, Phys. Rev. B 58, 15292
(1998),
http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevB.58.15292
[27] P. Lefebvre, A. Morel, M. Gallart, T. Taliercio, J. Allègre, B.
Gil, H. Mathieu, B. Damilano, N. Grandjean, and J. Massies, Appl.
Phys. Lett. 78, 1252 (2001),
http://dx.doi.org/10.1063/1.1351517
[28] W.W. Chow, H. Amano, T. Takeuchi, and J. Han, Appl. Phys. Lett.
75, 244 (1999),
http://dx.doi.org/10.1063/1.124336
[29] T. Böttcher, S. Einfeldt, V. Kirchner, S. Figge, H. Heinke, D.
Hommel, H. Selke, and P.L. Ryder, Appl. Phys. Lett. 73, 3232
(1998),
http://dx.doi.org/10.1063/1.122728
[30] M. Shimizu, Y. Kwaguchi, K. Hiramatsu, and N. Sawaki,
Solid-State Electron. 41, 145 (1997),
http://dx.doi.org/10.1016/S0038-1101(96)00155-4